季华恒一_季华恒一（佛山）半导体科技有限公司

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季华恒一、 季华恒一（佛山）半导体科技有限公司、

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季华恒一（佛山）半导体科技有限公司（简称季华恒一）于2021年6月22日成立，公司团队拥有超过30年半导体行业的从业经验，注册资本1000万。

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季 华 恒 一 _ 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 网 站 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 企 业 荣 誉 产 品 展 示 高 温 外 延 炉 离 子 注 入 机 S i C 高 温 激 活 炉 激 光 退 火 炉 快 速 退 火 炉 加 入 我 们 招 聘 岗 位 简 历 投 递 人 才 理 念 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 动 态 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 E N E N 中 文 A B O U T U S 公 司 介 绍     季 华 恒 一 ( 佛 山 ) 半 导 体 科 技 有 限 公 司 ( 简 称 季 华 恒 一 ) 于 2 0 2 1 年 6 月 2 2 日 成 立 ， 注 册 资 本 1 0 0 0 万 元 ， 是 一 家 专 业 从 事 半 导 体 装 备 研 发 、 制 造 及 销 售 的 高 新 技 术 企 业 。 查 看 详 情 P R O D U C T — —   产 品 展 示   — — S i C 离 子 注 入 机 长 寿 命 、 大 束 流 A l 离 子 源 设 计 制 造 技 术 高 效 离 子 束 传 输 光 路 技 术 高 温 高 效 自 动 靶 室 技 术 注 入 元 素 ： A l + 、 B + 、 P + 、 N + 、 H + 、 H e + 等 晶 圆 尺 寸 ： 6 吋 / 4 吋 / 8 吋 晶 片 温 度 ： R T 6 0 0 ℃ 可 调 注 入 能 量 ： 3 0 k e V ～ 4 0 0 k e V （ 单 电 荷 ） 注 入 剂 量 1 E 1 1 1 E 1 6 / c m ² 高 温 高 能 A l 、 N 及 常 规 B 、 P 、 H 、 H e 离 子 注 入 查 看 详 情   + S i C 高 温 外 延 炉 主 要 特 点 单 片 旋 转 生 长 ， 成 膜 均 匀 性 好 感 应 加 热 ， 升 降 温 速 度 快 耐 高 温 特 殊 材 料 生 长 室 ， 颗 粒 污 染 低 安 全 可 靠 性 高 ， 硬 件 和 软 件 双 保 险 关 键 技 术 指 标 晶 圆 尺 寸 : 4 时 / 6 吋 / 8 吋 最 高 温 度 : ≥ 1 7 0 0 ° ℃ 生 长 速 率 : ≥ 6 0 u m / h 外 延 片 掺 杂 浓 度 不 均 匀 性 : ≤ 5 % 表 面 形 貌 缺 陷 密 度 : ≤ 0 . 5 个 / c m ² 适 应 工 查 看 详 情   + S i C 高 温 激 活 炉 主 要 特 点 非 金 属 式 电 阻 加 热 高 均 匀 温 场 超 洁 净 炉 膛 环 境 真 空 退 火 和 多 气 氛 退 火 技 术 指 标 ​ 晶 圆 尺 寸 : 4 / 6 / 8 吋 最 高 温 度 ： 2 0 0 0 ℃ 温 度 控 制 精 度 : ± 1 ℃ 恒 温 区 温 度 均 匀 性 : ± 1 ℃ 最 大 升 温 速 率 ： 1 0 0 ℃ / m i n 最 大 载 片 量 ： 5 0 片 / 批 适 应 工 艺 S i C 基 地 退 火 工 艺 离 子 注 入 后 退 火 查 看 详 情   + 快 速 退 火 炉 主 要 特 点 自 动 传 片 单 片 ， 闭 环 温 度 和 功 率 控 制 灯 管 预 加 热 功 能 操 作 简 便 技 术 指 标 晶 圆 尺 寸 ： 4 / 6 / 8 吋 工 作 温 度 ： 1 0 0 ℃ ～ 1 2 5 0 ℃ 升 温 速 率 ： 0 ～ 1 0 0 ℃ / s e c ( 可 编 程 ) 降 温 速 率 ： 0 ～ 6 0 ℃ / s e c ( 可 编 程 ) 控 温 精 度 ： ± 1 . 5 ℃ 温 度 重 复 性 ： ± 1 ℃ 适 应 工 艺 离 子 注 入 后 快 速 退 火 欧 姆 接 触 快 速 合 金 硅 化 物 合 金 退 火 氧 化 物 生 长 查 看 详 情   + S i C 激 光 退 火 炉 激 光 加 热 低 热 预 算 局 部 退 火 ， 高 温 作 用 深 度 浅 ， 不 影 响 背 面 器 件 结 构 惰 性 气 氛 保 护 退 火 晶 圆 尺 寸 ： 4 吋 / 6 吋 / 8 吋 支 持 片 厚 ： 1 0 0 μ m ， 1 5 0 μ m ， 厚 片 比 接 触 电 阻 值 ： ≤ 1 0 5 Ω c m ² 比 接 触 电 阻 面 内 一 致 性 ： ＜ 1 % 最 大 产 能 ： 1 5 片 / 小 时 S i C 欧 姆 接 触 的 制 备 查 看 详 情   + C A S E — —   订 制 皮 具   — — S i C 离 子 注 入 机 长 寿 命 、 大 束 流 A l 离 子 源 设 计 制 造 技 术 高 效 离 子 束 传 输 光 路 技 术 高 温 高 效 自 动 靶 室 技 术 注 入 元 素 ： A l + 、 B + 、 P + 、 N + 、 H + 、 H e + 等 晶 圆 尺 寸 ： 6 吋 / 4 吋 / 8 吋 晶 片 温 度 ： R T 6 0 0 ℃ 可 调 注 入 能 量 ： 3 0 k e V ～ 4 0 0 k e V （ 单 电 荷 ） 注 入 剂 量 1 E 1 1 1 E 1 6 / c m ² 高 温 高 能 A l 、 N 及 常 规 B 、 P 、 H 、 H e 离 子 注 入 查 看 详 情   + S i C 高 温 外 延 炉 主 要 特 点 单 片 旋 转 生 长 ， 成 膜 均 匀 性 好 感 应 加 热 ， 升 降 温 速 度 快 耐 高 温 特 殊 材 料 生 长 室 ， 颗 粒 污 染 低 安 全 可 靠 性 高 ， 硬 件 和 软 件 双 保 险 关 键 技 术 指 标 晶 圆 尺 寸 : 4 时 / 6 吋 / 8 吋 最 高 温 度 : ≥ 1 7 0 0 ° ℃ 生 长 速 率 : ≥ 6 0 u m / h 外 延 片 掺 杂 浓 度 不 均 匀 性 : ≤ 5 % 表 面 形 貌 缺 陷 密 度 : ≤ 0 . 5 个 / c m ² 适 应 工 查 看 详 情   + S i C 高 温 激 活 炉 主 要 特 点 非 金 属 式 电 阻 加 热 高 均 匀 温 场 超 洁 净 炉 膛 环 境 真 空 退 火 和 多 气 氛 退 火 技 术 指 标 ​ 晶 圆 尺 寸 : 4 / 6 / 8 吋 最 高 温 度 ： 2 0 0 0 ℃ 温 度 控 制 精 度 : ± 1 ℃ 恒 温 区 温 度 均 匀 性 : ± 1 ℃ 最 大 升 温 速 率 ： 1 0 0 ℃ / m i n 最 大 载 片 量 ： 5 0 片 / 批 适 应 工 艺 S i C 基 地 退 火 工 艺 离 子 注 入 后 退 火 查 看 详 情   + N e w s — —   新 闻 中 心   — —   公 司 新 闻   行 业 动 态 聚 焦 科 技 创 新 与 高 质 量 发 展 5 月 1 3 日 ， 佛 山 市 人 大 常 委 会 教 科 文 卫 工 委 领 导 调 研 季 华 恒 一 公 司 携 手 共 进 ， 助 力 南 海 半 导 体 产 业 高 质 量 发 展 3 月 2 0 日 ， 南 海 区 人 大 常 委 会 党 组 成 员 、 副 主 任 林 健 率 区 人 大 常 委 调 研 组 一 行 莅 临 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 考 察 调 研 2 0 2 5 / 0 3 / 2 4 喜 迎 来 自 市 委 、 市 政 府 的 新 春 慰 问 ！ 新 春 佳 节 将 至 ， 公 司 于 近 日 收 到 了 来 自 佛 山 市 委 、 市 政 府 的 新 春 慰 问 贺 卡 。 2 0 2 5 / 0 1 / 1 7 喜 讯 | 季 华 恒 一 荣 获 广 东 省 专 精 特 新 中 小 企 业 称 号 ！ 近 日 ， 季 华 恒 一 ( 佛 山 ) 半 导 体 科 技 有 限 公 司 凭 借 其 在 技 术 创 新 、 产 品 特 色 、 精 细 化 管 理 以 及 市 场 拓 展 等 方 面 的 卓 越 表 现 ， 成 功 荣 获 广 东 省 专 精 特 新 中 小 企 业 的 殊 荣 。 2 0 2 4 / 1 2 / 2 5 南 海 区 委 书 记 顾 耀 辉 一 行 莅 临 公 司 调 研 1 2 月 5 日 ， 佛 山 市 南 海 区 委 书 记 顾 耀 辉 一 行 到 季 华 恒 一 （ 佛 山 ） 半 导 体 科 技 有 限 公 司 调 研 2 0 2 4 / 1 2 / 0 5 1 3 4 1 5 1 3 9 8 4 6 （ 微 信 同 号 ） 公 司 地 址 佛 山 市 南 海 区 桂 城 街 道 港 口 路 2 3 号 2 0 座 1 0 2 房 电 子 邮 箱 g e o r g e . l i @ h y s e m i . t e c h 官 方 公 众 号 C o p y r i g h t @ 2 0 2 3 . A l l R i g h t s R e s e r v e d .   粤 I C P 备 2 0 2 2 1 0 4 3 9 7 号   技 术 支 持 ： 英 铭 佛 山 网 站 建 设 I C P 备 案 号 ： 粤 I C P 备 2 0 2 2 1 0 4 3 9 7 号   P o w e r e d b y Y C M S

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