北京晶亦精微科技股份有限公司

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北京晶亦精微科技股份有限公司北京晶亦精微科技股份有限公司（以下简称“晶亦精微”或“公司”）专注于高端半导体设备制造，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。CMP设备通过化学腐蚀与机械研磨的协同配合作用，实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化，是集成电路制造前道工序、封装等环节必需的关键设备。

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北 京 晶 亦 精 微 科 技 股 份 有 限 公 司  首 页 关 于 晶 亦   公 司 简 介 荣 誉 资 质 业 务 领 域 公 司 新 闻 服 务 支 持 联 系 我 们   加 入 我 们 联 系 方 式 语 言   中 文 E N 邮 箱 创 造 卓 越 国 之 重 器 晶 亦 精 微 战 略 目 标 创 造 卓 越 国 之 重 器 晶 亦 精 微 战 略 目 标 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P 核 心 主 业 不 断 推 进 C M P 设 备 研 发 与 产 业 化 进 程 了 解 详 细 战 略 寻 根 品 牌 铸 魂 晶 亦 精 微 产 品 系 列 品 牌 战 略 寻 根 品 牌 铸 魂 晶 亦 精 微 产 品 系 列 品 牌 2 0 0 m m C M P 产 品 品 牌 H o r i z o n （ 地 平 之 境 ） 3 0 0 m m C M P 产 品 品 牌 S k y l e n s （ 天 空 之 境 ） 下 一 代 产 品 品 牌 D r e a m i t o r y （ 梦 想 之 境 ） 了 解 详 细 H o r i z o n 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 H o r i z o n 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P 核 心 主 业 不 断 推 进 C M P 设 备 研 发 与 产 业 化 进 程 了 解 详 细 S k y l e n s 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 S k y l e n s 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P 核 心 主 业 不 断 推 进 C M P 设 备 研 发 与 产 业 化 进 程 了 解 详 细 关 于 我 们 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P             北 京 晶 亦 精 微 科 技 股 份 有 限 公 司 是 由 北 京 烁 科 精 微 电 子 装 备 有 限 公 司 （ 烁 科 精 微 ） 整 体 变 更 发 起 设 立 的 股 份 有 限 公 司 。 于 2 0 1 9 年 9 月 2 3 日 在 北 京 经 济 技 术 开 发 区 注 册 成 立 ， 注 册 资 本 ： 1 6 6 4 6 . 1 3 5 万 人 民 币 ， 是 一 家 国 家 级 高 新 技 术 企 业 。 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P 核 心 主 业 ， 围 绕 产 业 化 和 市 场 化 进 程 中 亟 待 突 破 的 技 术 和 经 营 短 板 ， 不 断 推 进 C M P 设 备 研 发 与 产 业 化 进 程 ， 不 断 加 强 能 力 建 设 、 构 建 经 营 发 展 体 系 ， 不 断 夯 实 核 心 竞 争 力 。 我 们 坚 信 ， 在 各 方 的 支 持 下 ， 公 司 必 将 在 强 化 主 责 主 业 发 展 、 构 建 现 代 企 业 制 度 、 打 造 人 才 发 展 平 台 、 夯 实 管 理 基 础 等 方 面 探 索 出 更 有 利 于 公 司 发 展 、 更 适 应 行 业 发 展 规 律 的 道 路 ， 不 断 激 发 员 工 的 积 极 性 和 创 造 性 ， 为 股 东 创 造 更 大 价 值 ， 为 员 工 创 造 更 加 幸 福 而 有 尊 严 的 生 活 ！ 查 看 更 多 产 品 技 术 聚 焦 集 成 电 路 核 心 装 备 C M P 核 心 主 业   不 断 推 进 C M P 设 备 研 发 与 产 业 化 进 程 H o r i z o n H J P 2 0 0   化 学 机 械 抛 光 机 主 要 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 的 设 备 ， 如 I M D 、 S T I 、 I L D 、 B P S G 、 c o n t a c t o r 、 m e t a l l i n e 等 ， 同 时 支 持 T S V 、 M E M S 等 新 领 域 的 平 坦 化 工 艺 。 产 品 特 点 整 机 结 构 紧 凑 ， 节 约 净 化 厂 房 空 间 使 用 ； 可 实 现 晶 圆 的 “ 干 进 干 出 ” ； 在 线 终 点 检 测 方 式 ， 实 时 工 艺 控 制 ； 控 制 软 件 完 全 自 主 可 控 。 2 0 0 m m 晶 圆 尺 寸 4 个 抛 光 头 数 量 3 个 抛 光 盘 数 量 2 0 0 r p m 抛 光 盘 转 速 查 看 更 多 S k y l e n s H J P 3 0 0 化 学 机 械 抛 光 设 备 满 足 I C 制 造 中 所 有 复 杂 平 坦 化 工 艺 需 求 。 适 用 于 主 流 的 1 4 n m / 2 8 n m 逻 辑 制 程 ， 覆 盖 S T I / I L D / I M D , F i n F E T / M e t a l g a t e / W / C u 等 工 艺 。 产 品 特 点 2 × 2 抛 光 台 与 双 清 洗 工 位 双 独 立 流 程 和 传 输 系 统 研 磨 头 和 研 磨 台 对 立 对 应 , 保 证 更 好 的 工 艺 一 致 性 ( W I W & W T W 产 出 速 率 相 对 国 际 进 口 设 备 提 升 显 著 W P H > 6 0 查 看 更 多 H o r i z o n T 6 / 8 英 寸 C M P 设 备 主 要 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 的 设 备 ， 如 I M D 、 S T I 、 I L D 、 B P S G 、 c o n t a c t o r 、 m e t a l l i n e 等 ， 同 时 支 持 T S V 、 M E M S 等 新 领 域 的 平 坦 化 工 艺 。 产 品 特 点 兼 容 6 / 8 英 寸 晶 圆 ， 全 自 动 干 进 干 出 ， 工 艺 切 换 灵 活 适 用 性 广 支 持 S i C 、 G a N 第 三 代 半 导 体 及 特 种 材 料 的 平 坦 化 工 艺 需 求 国 内 实 现 批 量 销 售 2 0 0 m m 晶 圆 尺 寸 4 个 抛 光 头 数 量 3 个 抛 光 盘 数 量 2 0 0 r p m 抛 光 盘 转 速 查 看 更 多 H o r i z o n 3 0 0 1 2 英 寸 C M P 设 备 主 要 用 于 晶 圆 芯 片 制 造 中 所 有 平 坦 化 工 艺 需 求 的 设 备 ， 如 I M D 、 S T I 、 I L D 、 B P S G 、 c o n t a c t o r 、 m e t a l l i n e 等 ， 同 时 支 持 T S V 、 M E M S 等 新 领 域 的 平 坦 化 工 艺 。 产 品 特 点 四 研 磨 头 三 研 磨 台 和 竖 直 清 洗 主 架 构 集 成 多 种 先 进 终 点 检 测 技 术 及 全 自 动 工 艺 控 制 系 统 满 足 1 2 英 寸 集 成 电 路 制 造 中 2 8 n m 及 以 上 C M P 工 艺 需 求 成 熟 架 构 ， 产 线 运 行 成 本 优 势 明 显 2 0 0 m m 晶 圆 尺 寸 4 个 抛 光 头 数 量 3 个 抛 光 盘 数 量 2 0 0 r p m 抛 光 盘 转 速 查 看 更 多 服 务 支 持 我 们 的 服 务 旨 在 从 各 个 环 节 全 力 以 赴 满 足 客 户 的 需 求 技 术 支 持 以 客 户 为 中 心 ， 以 需 求 为 导 向 ， 为 全 球 客 户 提 供 高 品 质 全 方 位 技 术 服 务 。 质 量 保 证   建 立 了 安 全 可 靠 的 备 品 备 件 管 理 系 统 ； 中 国 大 陆 范 围 2 4 小 时 内 送 抵 现 场 ； 服 务 承 诺 O n s i t e 服 务 团 队 提 供 现 场 技 术 支 持 。 R & D 团 队 配 合 客 户 进 行 模 拟 测 试 ， 新 功 能 开 发 等 。 查 看 更 多 新 闻 中 心 公 司 权 威 信 息 发 布 聚 焦 媒 体 报 道 敏 锐 洞 察 国 内 外 行 业 资 讯 2 0 2 0 1 0 1 6 热 烈 庆 祝 北 京 烁 科 精 微 电 子 装 备 有 限 公 司 被 评 为 “ 2 0 2 0 德 勤 · 亦 庄 明 日 之 星 ” 2 0 2 0 年 1 0 月 1 6 日 ， “ 2 0 2 0 年 全 国 大 众 创 业 万 众 创 新 活 动 周 ” 开 幕 式 上 ， 烁 科 精 微 成 功 被 评 为 “ 2 0 2 0 德 勤 • 亦 庄 明 日 之 星 ” ， 成 为 唯 一 一 家 成 立 仅 1 年 的 获 奖 单 位 ， 此 次 获 奖 标 志 着 烁 科 精 微 被 北 京 经 济 技 术 开 发 区 列 为 区 域 高 速 成 长 、 持 续 创 新 的 优 秀 企 业 及 重 点 培 养 独 角 兽 企 业 和 上 市 企 业 的 首 选 对 象 ， 今 后 开 发 区 将 在 政 策 扶 持 、 品 牌 提 升 、 资 金 支 持 等 方 面 给 予 优 厚 先 支 持 。 查 看 详 细 2 0 2 0 0 8 1 3 烁 科 精 微 1 2 英 寸 C M P 设 备 2 0 2 0 年 启 动 验 证 攻 克 集 成 电 路 制 造 领 域 关 键 设 备 核 心 技 术 　 　 1 1 月 2 2 日 ， 记 者 在 北 京 烁 科 精 微 电 子 装 备 有 限 公 司 （ 以 下 简 称 “ 烁 科 精 微 ” ） 一 楼 净 化 厂 房 看 到 ， 工 作 人 员 正 在 对 一 台 C M P （ 化 学 机 械 平 坦 化 ） 设 备 进 行 整 机 组 装 。 烁 科 精 微 总 经 理 李 婷 介 绍 说 ， 公 司 研 发 的 C M P 设 备 满 足 I C 制 造 中 所 有 复 杂 平 坦 化 工 艺 需 求 ， 涵 盖 8 英 寸 （ 2 0 0 m m ） 和 1 2 英 寸 （ 3 0 0 m m ） 产 线 ， 公 司 批 量 生 产 的 H J P 2 0 0 型 C M P 设 备 已 通 过 S E M I S 2 和 S E M I F 4 7 认 证 ， 并 通 过 中 芯 国 际 和 华 虹 宏 力 的 大 产 线 产 业 化 验 证 ， 进 入 合 格 供 应 商 名 单 ， 形 成 批 量 采 购 ， 而 1 2 英 寸 （ 3 0 0 m m ） C M P 设 备 也 将 于 2 0 2 0 年 进 入 工 艺 验 证 阶 段 。 　 　 C M P 设 备 ， 也 叫 化 学 机 械 抛 光 设 备 ， 是 集 成 电 路 制 造 领 域 的 关 键 设 备 之 一 。 它 的 原 理 是 利 用 抛 光 液 化 学 刻 蚀 和 抛 光 垫 机 械 摩 擦 的 综 合 平 衡 作 用 ， 对 晶 圆 表 面 材 料 进 行 精 细 去 除 。 在 集 成 电 路 制 造 中 ， C M P 首 先 被 用 于 芯 片 制 造 前 道 工 艺 的 平 坦 化 、 器 件 隔 离 、 器 件 构 造 ， 其 次 在 芯 片 制 造 后 道 工 艺 的 金 属 互 连 也 需 使 用 。 同 时 ， C M P 在 集 成 电 路 3 D 封 装 T S V 工 艺 中 也 是 关 键 的 工 艺 手 段 。 正 是 因 为 具 有 相 对 多 样 且 关 键 的 应 用 ， C M P 已 经 成 为 集 成 电 路 制 造 中 的 标 准 工 艺 和 核 心 装 备 。 　 　 “ 我 们 的 设 备 各 项 指 标 符 合 产 线 生 产 的 要 求 ， 满 足 0 . 0 9 0 . 3 5 u m 工 艺 节 点 集 成 电 路 生 产 需 要 ， 打 破 了 之 前 C M P 设 备 只 能 依 靠 进 口 的 局 面 ， 为 集 成 电 路 产 业 C M P 设 备 自 主 可 控 提 供 了 保 障 。 ” 李 婷 说 ， 随 着 大 规 模 集 成 电 路 产 品 性 能 指 标 的 提 升 ， 集 成 电 路 生 产 企 业 需 要 不 断 研 发 更 先 进 的 工 艺 ， 其 中 先 进 C M P 工 艺 是 关 键 环 节 ， 烁 科 精 微 C M P 设 备 配 备 了 高 精 度 研 磨 压 力 控 制 系 统 ， 增 加 了 抛 光 垫 在 线 复 杂 曲 线 修 整 模 式 ， 更 新 了 化 学 液 的 控 制 方 式 ， 提 升 了 控 制 精 度 ， 对 经 常 需 要 维 护 的 部 件 进 行 了 结 构 改 进 ， 缩 短 了 单 次 维 护 时 间 ， 提 升 了 产 品 性 能 。 　 　 据 介 绍 ， 烁 科 精 微 已 经 建 立 国 内 首 个 集 成 8 英 寸 和 1 2 英 寸 的 C M P 整 体 方 案 开 发 平 台 ， 支 持 C M P 相 关 工 艺 材 料 验 证 、 工 艺 研 发 及 设 备 优 化 ， 构 建 起 “ 产 品 + 工 艺 + 材 料 + 服 务 ” 的 系 统 解 决 方 案 ， 建 立 C M P 高 端 技 术 生 态 链 系 统 。 8 英 寸 （ 2 0 0 m m ） C M P 设 备 在 推 向 市 场 的 短 短 两 年 中 ， 已 经 得 到 行 业 和 市 场 的 逐 步 认 可 ， 完 成 进 口 替 代 。 　 　 两 个 月 之 前 在 经 开 区 注 册 成 立 的 烁 科 精 微 ， 是 中 电 科 电 子 装 备 集 团 有 限 公 司 为 实 现 科 技 成 果 转 化 设 立 的 混 合 所 有 制 公 司 ， 也 是 电 科 装 备 第 一 个 由 职 业 经 理 人 担 任 总 经 理 的 新 设 公 司 ， 公 司 的 机 制 体 制 、 考 核 体 系 、 管 理 模 式 等 更 加 适 应 现 代 企 业 制 度 。 在 业 务 上 ， 烁 科 精 微 坚 持 聚 焦 C M P 这 一 集 成 电 路 高 端 装 备 核 心 主 业 ， 推 动 集 成 电 路 关 键 装 备 研 发 与 产 业 化 进 程 ， 计 划 在 2 0 2 0 年 二 季 度 完 成 1 2 英 寸 （ 3 0 0 m m ） C M P 设 备 的 实 验 室 工 艺 验 证 及 数 据 收 集 ， 随 后 将 设 备 推 向 产 线 进 行 验 证 ， 在 产 品 验 证 通 过 之 后 ， 进 行 量 产 。 　 　 对 于 下 一 步 发 展 ， 李 婷 说 ， 烁 科 精 微 将 依 托 亦 庄 在 集 成 电 路 制 造 产 业 领 域 的 集 群 效 应 ， 建 立 集 C M P 设 备 、 耗 材 、 附 属 设 备 以 及 工 艺 d e m o 于 一 体 的 国 产 C M P 成 套 工 艺 平 台 ， 提 供 一 站 式 C M P 技 术 解 决 方 案 ， 实 现 C M P 成 套 技 术 的 国 产 化 。 此 外 ， 在 集 成 电 路 平 坦 化 技 术 领 域 开 拓 探 索 ， 对 前 沿 的 F i n f e t 技 术 ， R u / C o 等 特 殊 材 料 的 平 坦 化 工 艺 进 行 深 入 探 索 ， 不 断 推 动 下 一 代 平 坦 化 技 术 发 展 。 　 　 h t t p : / / k f q g w . b e i j i n g . g o v . c n / z w g k / x w z x / y z x w / 2 0 1 9 1 1 / t 2 0 1 9 1 1 2 6 _ 5 4 8 7 4 1 . h t m l 查 看 详 细 2 0 2 0 0 8 1 3 热 烈 庆 祝 北 京 烁 科 精 微 电 子 装 备 有 限 公 司 通 过 2 0 2 0 年 中 关 村 高 新 技 术 企 业 评 审 并 获 得 了 由 中 关 村 科 技 园 区 管 理 委 员 会 颁 发 的 “ 中 关 村 高 新 技 术 企 业 ” 认 定 证 书 。 热 烈 庆 祝 北 京 烁 科 精 微 电 子 装 备 有 限 公 司 通 过 2 0 2 0 年 中 关 村 高 新 技 术 企 业 评 审 并 获 得 了 由 中 关 村 科 技 园 区 管 理 委 员 会 颁 发 的 “ 中 关 村 高 新 技 术 企 业 ” 认 定 证 书 。 　 　 中 关 村 高 新 技 术 企 业 是 指 在 中 关 村 科 技 园 区 国 家 重 点 支 持 的 高 新 技 术 领 域 ， 持 续 进 行 研 究 开 发 与 技 术 成 果 转 化 ， 形 成 企 业 核 心 自 主 知 识 产 权 ， 并 以 此 为 基 础 开 展 经 营 活 动 ， 将 重 大 高 新 技 术 成 果 转 化 成 生 产 力 ， 属 于 国 内 或 国 际 先 进 的 企 业 。 　     烁 科 精 微 科 能 够 在 公 司 成 立 未 满 一 年 内 取 得 中 关 村 高 新 技 术 企 业 资 质 ， 是 北 京 市 对 烁 科 精 微 科 在 技 术 创 新 、 知 识 产 权 、 产 品 发 展 以 及 市 场 竞 争 力 等 方 面 的 高 度 认 可 和 鼓 励 。 通 过 中 关 村 高 新 技 术 资 质 认 证 的 企 业 ， 能 享 受 国 家 对 于 中 关 村 园 区 内 企 业 在 科 技 、 金 融 、 人 才 、 产 业 化 、 技 术 创 新 、 重 大 科 技 成 果 转 化 等 方 面 的 扶 持 政 策 ， 为 企 业 持 续 发 展 提 供 更 多 有 利 条 件 ， 也 是 未 来 企 业 不 断 提 升 品 牌 价 值 、 增 强 综 合 竞 争 力 的 强 大 动 力 。 　 　 “ 中 关 村 高 新 技 术 企 业 ” 认 定 仅 仅 是 个 开 始 ， 未 来 ， 烁 科 精 微 将 继 续 加 大 研 发 投 入 、 积 极 创 新 ， 努 力 提 高 产 业 技 术 水 平 和 企 业 核 心 竞 争 力 。 查 看 详 细 T h i s w e b s i t e u s e s t h i r d p a r t y a n a l y t i c a l a n d s o c i a l m e d i a c o o k i e s t o e n s u r e y o u g e t t h e b e s t e x p e r i e n c e . I a g r e e a n d m a y r e v o k e o r c h a n g e m y c o n s e n t a t a n y t i m e w i t h e f f e c t f o r t h e f u t u r e . F i n d o u t m o r e . D e n y A c c e p t   + 8 6 1 3 5 1 2 1 0 8 4 1 7 + 8 6 1 0 5 8 4 8 1 2 0 0 + 8 6 1 0 6 7 8 8 1 1 9 5 S h a r e t o F a c e b o o k F a c e b o o k , N u m b e r o f s h a r e s S h a r e t o T w i t t e r T w i t t e r S h a r e t o G o o g l e + S h a r e t o P i n t e r e s t P i n t e r e s t , N u m b e r o f s h a r e s S h a r e t o L i n k e d I n L i n k e d I n , N u m b e r o f s h a r e s 关 于 晶 亦 公 司 简 介 资 质 荣 誉 业 务 领 域 业 务 领 域 公 司 新 闻 公 司 新 闻 服 务 支 持 服 务 支 持 联 系 我 们 加 入 我 们 联 系 方 式 联 系 方 式 北 京 市 北 京 经 济 技 术 开 发 区 科 谷 四 街 1 号 院 1 3 号 楼 1 至 6 层 电 话 ： 0 1 0 5 9 1 1 3 8 5 3 市 场 部 电 话 ： 0 1 0 5 9 1 1 3 8 8 8 假 冒 国 企 平 台 举 报 电 话 ： 0 1 0 5 9 1 1 3 8 5 3 邮 箱 ： m a r k e r i n g @ g e g v s . c n （ 市 场 部 ） 　 　 　 h a o y u . w a n g @ g e g v s . c n （ 人 力 资 源 ） 微 信 公 众 号 C o p y r i g h t © 2 0 1 9     北 京 晶 亦 精 微 科 技 股 份 有 限 公 司   A l l R i g h t s R e s e r v e d .     网 站 建 设 ： 中 企 动 力   北 京       京 I C P 备 1 9 0 5 8 9 9 7 号 免 责 声 明  

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